?? DZS500電子束蒸發系統 - 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司

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DZS500電子束蒸發系統
編號:1
類別:電子束蒸發
  • 產品概述
  • 規格參數
  • 服務支持

      設備用途

          用于研究導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜等,廣泛應用于大專院校、科研機構的科研項目。

      設備組成

          系統主要由蒸發真空室、E型電子槍、熱蒸發電極、旋轉基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統、真空測量、電控系統及安裝機臺等部分組成。

    極限真空度:≤6.67×10-5Pa

    抽速:45分鐘可達到6.67×10-4Pa

    基片尺寸:4英寸x1片;

    加熱爐最高溫度 800°C

    熱阻蒸發組件:2套;

    新型電子槍及電源:電子槍最大功率8KW10KV,800mA)可調;

    水冷式坩堝: 4穴坩堝,每個容量約為11 ml

    膜厚控制儀(1個探頭):1套;

    分子泵系統:1套;

    控制系統:用工控機進行系統操作,可顯示或自動控制的功能有:電子槍、膜厚控制儀、樣品旋轉及加熱、氣路、抽氣;

    冷卻水循環機及水路組件:1套;

    離子轟擊系統組件:1套;

    公司:中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司 

    地址:沈陽市渾南新區新源街1

    銷售電話:024-23826899024-23826855

    售后電話:024-23826838

    傳真:024-23826828

    郵箱:sales@sky.ac.cn

    網址:www.128968.buzz

    開戶行:建行沈陽渾南新區產業園分理處

    賬號:2100 1394 6010 5958 1266

    納稅號:912101 0041 0581 2660

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