?? FJL560磁控濺射與離子束系統 - 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司

首頁 ? 產品中心 ? PVD鍍膜設備 ? 離子束濺射鍍膜設備

FJL560磁控濺射與離子束系統
編號:1
類別:離子束濺射鍍膜設備
  • 產品概述
  • 規格參數
  • 服務支持

    設備用途 

     

        用于納米級單層及多層功能膜、硬質膜、金屬膜、半導體膜、介質膜等新型薄膜材料的制備。可廣泛應用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研制備。

    設備組成 

     

        系統主要由濺射真空室、磁控濺射靶、基片加熱臺、直流電源、射頻電源、工作氣路、抽氣系統、真空測量、電控系統、離子源及安裝機臺等部分組成。

    極限真空度:≤6.6x10-5Pa

    抽速:40分鐘可達到6.6x10-4Pa

    磁控濺射靶組件:2英寸x4套;

    直流濺射電源:500Wx2套;

    射頻濺射電源:500Wx2套;

    樣品尺寸:φ30mmx6片;

    樣品臺溫度:600℃;

    濺射離子槍:1套;

    輔助離子槍:1套;

    四工位轉靶:1套;

    質量流量控制器:3套;

    分子泵系統:1套;

    控制系統:觸摸屏點動控制:樣品公轉、樣品自轉、基片擋板轉動、樣品控溫、四工位轉靶、質量流量控制器、真空計、直流濺射電源、射頻濺射電源。

    冷卻水路系統:1套。

    公司:中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司 

    地址:沈陽市渾南新區新源街1

    銷售電話:024-23826899024-23826855

    售后電話:024-23826838

    傳真:024-23826828

    郵箱:sales@sky.ac.cn

    網址:www.128968.buzz

    開戶行:建行沈陽渾南新區產業園分理處

    賬號:2100 1394 6010 5958 1266

    納稅號:912101 0041 0581 2660

留言咨詢 (* 為必填項目)
* 姓名
* 內容
* 驗證碼
 
QQ在線咨詢
在線QQ客服
3249891528
咨詢熱線
024-23826855
河南体彩十一选五开奖走势 456棋牌 apk 官网 天津11选5拖胆 能赚钱炸金花游戏 赌场扑克牌有什么玩法 甘肃快三最多可以中多少 捕鱼大富翁红包提现 打南京麻将怎么赢 炸金花提现棋牌可提现 深圳风采一等奖多少钱 山西十一选五走势图一定牛 公牛vs掘金 星悦陕西麻将官网 手机棋牌游戏版下载 群英会任2中了多少钱 北京快3历史开奖结果 浙江11选5走势图