?? FHL-600型硬碳膜制備設備 - 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司

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FHL-600型硬碳膜制備設備
編號:SN20150801154211421
類別:硬碳膜制備設備
  • 產品概述
  • 規格參數
  • 服務支持

     

    設備用途

        單室立式結構的高真空鍍膜設備,可用于開發單層膜—類金剛石膜(DLC)等。類金剛石膜具有紅外光譜透過率高、硬度高、摩擦系數小、化學穩定性好等優點,可以作為多種光學材料的增透率和保護膜,起到抗磨損、抗腐蝕、抗潮解和抗氧化的作用。

     

    設備組成

        主要由鍍膜室、靶電極、射頻電源、電磁線圈及控制電源、泵抽系統、真空測量系統、電控系統、氣路系統、水路系統等組成。

     

    樣片


     

    技術指標

     

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