?? JGH-4200A - 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司

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JGH-4200A
編號:SN20150731225219674
類別:系列羅茨與爪型干式真空泵
  • 產品概述
  • 規格參數
  • 服務支持

    產品優勢
        JGM、JGH系列多級干式真空泵,結合羅茨與爪型轉子吸氣原理,通過多級轉子的優化組合,最大限度利用了多級羅茨干泵與爪型干式真空泵的優勢,從而在較寬的壓力范圍內獲得較大的實際抽速,高效地實現了潔凈真空環境的獲得。
    1、高清潔度的真空環境
    2、整機高可靠性
    3、穩定的運轉性能
    4、自適應智能控制
    5、工藝安全性
    6、客戶優質服務

     

    產品原理

        多級干式真空泵采用了羅茨轉子與爪型轉子組合的結構,充分利用了羅茨轉子在低壓區抽氣高效,爪型轉子在高壓區抽氣高效的特點,同時融合了爪型轉子抽氣通道短,壓縮氣體產生熱量更高的特點,其性能相對于傳統單純爪型或單純羅茨真空泵更具優勢。

     

    產品應用領域

     

    重點應用:
        集成電路、太陽能電池、LED領域,可用于裝載腔、傳輸腔等清潔工藝過程,也可用于PVD、刻蝕、多種CVD等一般制程工藝或苛刻制程工藝過程。

     

    其他應用:

        真空冶金(回火和退火、鋼脫氣,表面處理熔化,精煉,鑄造和焊接等);
        真空鍍膜系統(玻璃鍍膜、精密光學等);
        真空包裝、食品、化工、醫藥、電機制造等工業蒸餾、蒸發、干燥等。

        沈陽科儀公司從事真空泵的銷售和生產服務長達13年,更于 2011年8月底在沈陽建立了真空干泵維修線并正式開始運營干泵維修業務,目前月維修量百余臺套。我們對常用的泵種有豐富的零部件儲備庫,目前可維修真空泵的品牌包括:Alcatel、Edwards、EBARA、Busch、KASHIYAMA、Leybold、Pfeiffer、Varian、ULVAC 。

     

    服務承諾

    1.為客戶提供解決方案式服務,協助用戶建立產品維護保養體系,提高產品使用壽命,降低影響生產風險;
    2.2小時響應,4小時確定解決方案;
    3.根據故障情況及客戶要求提供最佳形式服務(現場維修、返廠維修等);
    4.專人駐廠或定時巡檢;
    5.突發事件提供快速通道式處理服務。

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